精密处理系统

半导体行业对超纯水中的颗粒物要求非常苛刻,超纯水制造中对于颗粒物和各种元素的最终去除需要采用高精度的去离子和过滤等工艺,并且材质的化学性质和结构强度必须非常稳定,要求处理精度达到PPT级,需要高尖端技术和经验。

特点:

0.1μm粒径以上的颗粒数可以降低至<5个/ml;

B元素去除要求达到PPT级;

出厂均进行完整性测试,保证无泄漏;

采用无死角设计,避免微生物滋生。


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